Другие работы авторов: Палатник Л.С., Сорокин В.К.

В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники, Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии и приповерхностный слой примесей. а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальных пленок кремния.

 В представленном издании нет информации о том, где находится  http://www.autoliga.info/main/prokat-avtomobilej/avtomobili.html
Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов.

ПРЕДИСЛОВИЕ РЕДАКТОРА

В течение длительного времени микроэлектроника развивалась в основном по двум почти непересекающимся направлениям. С одной стороны, создавались и совершенствовались технологические методы изготовления микроэлектронных приборов и схем, а с другой — широким фронтом проводились фундаментальные исследования физических свойств пленочных систем.

Не получив конкретных технологических применений, эти исследования первоначально неодобрительно рассматривались приверженцами первого направления.

Постепенно стало выясняться, что чрезмерный «эмпиризм» в технологии оправдан далеко не всегда. Иногда такой подход порождает излишний оптимизм в отношении устройств, технология которых содержит принципиальные «генетические» недостатки физико-химического происхождения, а иногда, напротив, приводил к недооценке перспективных направлений лишь на том основании, что при первых попытках их реализации возникали трудности, казавшиеся непреодолимыми. Окончательно сомнения в необходимости разумного синтеза указанных направлений развеялись после того, как в результате глубоких исследований свойств твердых тел, и в первую очередь их поверхностных свойств, а также изучения физических характеристик материалов в тонкопленочном состоянии были созданы совершенно новые типы приборов, например полевые транзисторы, приборы зарядной связи, приборы, основанные на плазменных эффектах в твердых телах, ит. п.

Фактически в последние годы произошла серьезная «перестройка» психологии технологов, работающих в области микроэлектроники.