Название: Технология тонких пленок (справочник). В 2-х т. Автор: Майссел Л. Издательство:
Советское радио Год: 1977 Язык: Русский Размер: 2 тома Формат: pdf Качество: хорошее
Название: Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок Автор: Берлин Е.В. Издательство:
Техносфера Год: 2007 Язык: Русский Размер: 1,6 МБ Формат: pdf Качество: хорошее
Название: Вакуумно-дуговые устройства и покрытия Автор: Андреев А.А. Издательство:
Харьков, ННЦ ХФТИ Год: 2005 Язык: Русский Размер: 13,6 МБ Формат: pdf Качество: хорошее